秘书回答后,张敬业先看了一下手表,然后点头说道:
“9点50的时候,你提醒我一下。”
随后,张敬业便翻看起了手中的资料,两年前,他们发明了接触式光刻机后,南洋又有几家公司开始从事这方面的研究。
他们的加入,在加剧竞争的同时,也推动了这个行业的发展。
为了提高生产效率,降低成本,工程师们在原有基础上进行了改进,加了可水平和垂直移动的平台,以及用来测量光掩模和硅片间距与套刻的显微镜,让光刻时两者尽量接近但又不直接接触,这就是渐进式光刻机。
经过改良后的光刻机避免了光刻胶玷污光掩模,但是却带来了新的问题,光具有波粒二象性,由于光的衍射效应,光刻机的精度下降了,光源波长越长,衍射现象也就越严重。除了受限于光的衍射效应,光掩模与光刻胶的距离也决定了光刻的精度,间距越大,硅片上的投影与掩膜上图形的误差也就越大。
而为了进一步改进光刻机,张敬业想到了蔡司公司,他们是光学仪器的行家,也许,他们能够给予一些建议,帮助公司走出眼下的困境。
就这样,翻着手中的资料,时间过的很快,在秘书的提醒下,张敬业到了楼下,这边刚走出电梯,蔡司工程师也到了。
“鄙姓徐,徐会川。”
徐会川自我介绍道,虽然他很年青,但却也是一名非常优秀的光学工程师,这也是公司派他过来的原因。
在简单的寒暄后,他们就一起走进了电梯,一进电梯,张敬业说向对方介绍着他的想法。
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