几年前,投影式光刻机的发明,让光刻图形达到理想的分辨率。它的诞生,让芯片生产的良率,从10%,一夜之间提升了7倍,达到70%,这一次光刻技术的飞跃,导致了芯片价格的暴跌,这也是芯片全面普及的前提。
而现在,蔡司和相关企业合作,正在研究基于透镜组的步进式光刻机,这种光刻机可以制造制程更小的芯片。
对于光刻机的研究,李毅安一直都是非常关注的。
事实上,最近几年sEA在集成电路领域的突飞猛进,和在光刻机技术上所取得的突破是有着直接关系的。
四年前,永宁蔡司推出了具有划时代意义的步进式光刻机DSW4800。这款光刻机使用波长436纳米的g线作为曝光光源。镜头则是永宁蔡司的S-Pnar10/0.28。
DSW的分辨率可达1微米,可以将电路刻到100毫米见方的区域,这是前所未有的突破。
这台光刻机在当时的价格为130万元,说是天价也并不过分,但更高的良率,更先进的制程,更高的芯片性,不仅让sEA的企业他的用户,还吸引了西门子、IBM,、美国国家半导体等都成为了永宁蔡司的客户。
尽管美国也有同类的光刻机,但是sEA的高性能的光刻机,其稳定性和自动化程度更加优异。所以永宁蔡司占据着全球70%以上的市场。
就是靠着这一款跨时代的光刻机,才在真正意义上敲开了电子时代的大门。
“光刻机……最关键的还是光刻机呀。”
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